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品质决定未来
高纯度铜
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IGBT(Insulated Gate Bipolar Transistor,MCP
矿用电缆绝缘栅双极晶体管)已被广泛使用,高电压和大电流是其未来的发展方向,MCP矿用电缆近年来,它已在高压直流输电领域得到应用。着功率容量的不断提高,对设备的设计和制造提出了更高的要求。了缩短设计周期,提高效率,降低制造成本,应采用计算机仿真,以大大提高工作效率。文使用ISE软件根据带外情况进行仿真研究。果表明,该软件仿真方法可以有效指导设备生产。于高压高电流IGBT的制造,MCP传统的外延方法不再适用[1]。MCP矿用电缆将器件直接放置在硅单晶上已导致工艺流程的改变。了提高效率,MCPMCP降低制造成本,从单晶硅材料的选择到加工技术的每一步都有系统和严格的要求[2]。算机仿真设计方法可以显着提高生产可靠性,包括结构过程仿真,电气特性仿真和布局设计[3]。用计算机软件对IGBT器件的过程进行仿真,即,通过适当调节扩散过程的温度,时间和气氛,MCP矿用电缆采煤机模拟了最佳器件参数,例如硼-磷结深度,采煤机并最终获得了理想的器件结构。文设计的IGBT器件是基于透明阳极技术的NPT型IGBT。用环形现场卡的混合终端结构[4]。程仿真的二维结构如图1所示。过程仿真生成的器件结构的电特性进行了仿真,MCP矿用电缆MCP矿用电缆并获得了器件关键参数的仿真曲线[5]。
值电压的仿真。真结果表明,影响阈值电压的因素首先是P阱区的掺杂浓度及其杂质分布,采煤机然后是栅氧化层的厚度。电缆发现器件的通道越长,杂质的分布越平坦,并且越容易控制阈值电压。在实际工艺中,由于P阱区的掺杂和退火工艺与杂质的重新分布密切相关,因此应该对其进行优化,MCP矿用电缆以最大程度地减小P阱区的杂质分布的波动。以获得更稳定的阈值电压。最终提高了设备参数的一致性和一致性[6]。值电压的特性曲线在图2中示出。

真结果表明,采煤机芯片厚度,MCP矿用电缆衬底掺杂浓度,P体掺杂浓度和栅氧化层厚度都是影响该状态下特性的因素。通状态下的特性曲线如图3所示。真结果表明,影响开关参数的因素包括P 阳极的掺杂浓度,电缆栅氧化层的厚度,MCP多晶硅的厚度和掺杂浓度。果存在N 缓冲层,电缆则与掺杂浓度和缓冲层(7)的厚度有关。开关参数与芯片的总体布局,MCP特别是多晶硅栅极的布局结构有很大关系。
关特性曲线如图4所示。据过程仿真的结果,电缆确定器件的横向尺寸,并绘制芯片布局,如图5所示。

过过程仿真和仿真器的电气特性进行仿真IGBT,电缆充分结合了流片测试情况,研究结果表明,计算机仿真结果与测试数据非常吻合,MCP矿用电缆电缆为器件的制造提供了有力的支持[8]。
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